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第321章 陈彦霖生气了(1 / 1)

操作工小哥也听出了陈彦霖的语气不太好,但还是辩解道:“他们是设备厂商啊!而且他们说了只用一小会的......”

在陈彦霖冷淡的眼神下,操作工小哥的声音越说越小,到了后面自己也说不下去了。

陈彦霖看了他一眼之后,就冷声吩咐道:“去把你们主管叫来。”

陈彦霖说完也不管操作工小哥的哀求,就直接走上前,对着这些asnml公司过来的工程师们开口问道:“你们在做什么?”

陈彦霖说的是英文,asnml公司的工程师们一听到陈彦霖开口,就略有点紧张了起来。

陈彦霖透过人群,看向了他们背后正在工作的设备。

因为戴着口罩,全身被无尘服包裹的原因,这些工程师们也只能看到陈彦霖的眼睛。

虽然不认识,但是他们也从陈彦霖挺拔的身姿和淡然的眼神中,看出来这不是一个普通的操作工了。

也就停顿了几秒,对面的工程师中就有一人站了出来,对陈彦霖自我介绍道:“我们是asnml公司的工程师,我们这次是过来安装调试euv光刻机的。”

asnml公司的工程师见陈彦霖没有接话,只能继续说道:“现在euv光刻机还在入厂静置,所以我们先过来帮你们检测一下这两台duv光刻机的性能。”

这个工程师的话音刚落下,陈彦霖还没来得及开口,就见远处又过来了一个人,他的手里正拿着一组晶圆走了过来。

陈彦霖起初以为这是现场的生产人员,正想提示他的操作动作不标准,结果就看到这个人朝着asnml公司的工程师队伍走去了。

这个人还边走边说道:“这台设备的制程和精准度,确实高了许多。”

男人说着就把手上的晶圆递给了其他工程师,陈彦霖见状也走上前,伸手接过了一块晶圆看了起来。

果然这些晶圆上面的图形都是asnml公司专门用来检测光刻机性能的图谱。

而且这些晶圆不仅做完了光刻这道工序了,后面的烘烤、显影,还有刻蚀工序都已经做完了。

陈彦霖看了一眼晶圆正面的边缘处的晶圆批号和编号,不禁眼神冷了下来。

在芯片的生产过程中,为了方便在后面的生产、测试和封装工艺中追踪晶圆,芯片厂会在晶圆投料后,用激光在晶圆的正面的边缘处刻上晶圆的批号和编号。

批号就是这一批晶圆是哪一批的产品,编号就是这个晶圆是这批产品中的第几个。

这样编号的好处就是不仅可以在后续工序中追踪产品,同时还可以根据各批产品的数据来总结生产中出现的一些问题。

陈彦霖看着手上这明显就是正常生产批号的晶圆,就这样中途报废掉给别人做一些不关痛痒的实验,给他们去测数据的时候,内心突然就升起一阵郁气。

陈彦霖平复了一下情绪之后,又冷声问道:“这组晶圆是谁批准给你们做实验的?”

一般情况下,实验用的晶圆都会有单独的批号。

但是因为从生管部开始下料到光刻,还需要经过拉单晶、磨外圆、切片、倒角、研磨......扩散、薄膜沉积等工序。

这些工序至少要好几天,所以芯片厂有装机调试或者新产品设计等实验的时候,通常都是要需要提前申请物料,然后用激光打上测试批的单独编号才能开始实验的。

这也是芯片厂测试的标准流程,可是这些asnml公司的工程师们显然没有按照这个流程来。

陈彦霖现在也不知道,究竟是谁给他们的特权,能让他们把这种正常批号的晶圆直接拿过来做实验。

asnml公司的工程师们也都感觉到陈彦霖的语气明显不对了,之前说话的那个人明显是这批工程师们的团队领导,他见状只能站出来解释道:“你别误会,我们只是帮你们重新检测校对一下设备的,你放心,我们这个校对是我们免费赠予的,是不收费的!”

陈彦霖看着他脸上信心满满的表情,只觉得心中的郁气更盛了。

但是陈彦霖也知道这并不是他们单方面的问题,如果没有现场操作人员的纵容,他们也无法直接拿到这些晶圆,也无法直接把现场的生产停掉,把设备抢去做他们的复测实验。

是的,这个实验是他们的,陈彦霖已经从他们之前零零散散的对话中,听出来,他们这次过来的一个任务,就是检测龙芯芯片厂的这两台duv光刻机,为什么能生产32nm工艺制程的芯片?

这显然是之前离开的那一批duv光刻机的安装工程师,把龙芯芯片厂的研发内容带回去的,而这也引起了asnml公司的警觉。

所以他们这次派euv光刻机的安装测试团队过来的时候,就直接给他们安排了这个检测一下为什么龙芯芯片厂的两台duv光刻机的生产数据会这么好的原因?

可以说他们这个检测实验都是为了他们自己,对龙芯芯片公司是毫无好处的。

但是此刻他却可以说得如此的冠冕堂皇,甚至还能说出“免费赠予”、“不收费”!

陈彦霖要不是之前自学了一点荷花国的语言,可能就真的被他们这样蒙混过去了!

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