陈彦霖没有接他们的话，而是继续冷声问道：“这组晶圆到底是谁批准给你们做实验的？”
asnml公司的工程师们闻言面面相觑，并无人主动回答。
就在这个时候，操作工小哥也领着光刻制程的领班过来了。
光刻制程的领班崔青也认识陈彦霖，一过来就熟稔地说道：“陈哥，你今天怎么有空过来呀？”
光刻机装机调试的时候，陈彦霖几乎是每天都在光刻机这边的，但是等两台光刻机都调试好了，量产了以后，陈彦霖就很少过来这边了。
所以崔青也是有一段时间没见到过陈彦霖了。
陈彦霖没有回崔青的话，而是举了举手上的晶圆，对着崔青问道：“这组晶圆是谁批给他们做实验的？设备是谁批给他们做实验的？”
虽然陈彦霖的声音很平静，但是熟悉他的人都能听出来陈彦霖已经生气了。
崔青经过前面几个月和陈彦霖的接触，对陈彦霖也是有了一定了解的，所以此刻崔青连忙解释道：“陈哥，这批晶圆本来就有问题，在薄膜沉积那道工序就报废了的，正好他们有需要，我们就让他们废物利用了。”
崔青顿了顿，又继续说道：“而且这是我们主管批的，我们也没办法啊！陈哥，要不算了吧！反正他们也快要用完了，我们现在就开始生产。”
崔青说完就对着一旁的操作工招呼道：“李想，你现在赶紧把下一批晶圆做了吧！”
崔青说完看了一眼手表，然后催促道：“快点，马上要超时了。”
芯片在生产的时候，光刻之前有一道工序是薄膜沉积，这道工序的主要作用就是在晶圆上面覆盖一层均匀的光敏材质的薄膜。
然后在光刻工序里，光刻机会根据提前设置好的线路版图，用光线照射在线路处，然后，让晶圆上线路处覆盖的薄膜通过光敏反应，生成一种无法被后续工序中化学药水洗掉的薄膜。
然后光刻工序后面的显影工序就会把未经过光刻机中光源照射的薄膜清洗掉，然后把这部分薄膜覆盖下的晶圆露出来。
等到了后面刻蚀线的时候，刻蚀机里面的化学药水就会把裸露出来的晶圆刻蚀掉。这时候晶圆上面剩下的就是我们想要留下的电路。
而后还需要再把这些晶圆再走一条显影线，用另一种化学药水，把线路上覆盖的产生过光化学反应的薄膜也清洗掉。
......
这样就是初步地在晶圆上面刻了一层线路了，而通常芯片上面都是有多层线路的，所以这几道工序是需要反复进行的。
而因为薄膜接触外界的空气和自然光也会出现缓慢的化学反应，为了减少这个反应对生产结果的影响，所以张晓寒当初就直接对这几道工序的生产时间间隔做了管控的。
其中最典型的一条就是薄膜沉积工序做完后，必须2个小时内上光刻线，4个小时内上线路显影线......
张晓寒这么要求的目的是为了控制薄膜和外界接触的时间，以杜绝生产过程中出现一些不利的因素，进而提高芯片的合格率和性能。
但是显然张晓寒的这番要求，此刻却已经成为了生产部现场自由支配现场半成品晶圆的一个依据了。
他们一边因为管控时限超标而把已经做到光刻工序之前的晶圆报废掉，一边可以在晶圆管控时限即将超标的时候，还能把设备未经领导许可，就借给一些不相干的人去做一些自己毫不知情的实验。
陈彦霖看着崔青淡定自若的模样，强压着心中的怒气，走到了一旁的电脑上面，开始在系统里查起了这批芯片的生产记录来。
只见系统里详细地显示着这批芯片当时是和35批芯片一起下料的。
在其他的生产工序时，这36批芯片都是一起生产的。
唯独到了光刻这道工序时，在其他35批芯片都生产结束之后，就开始生产其他批次的芯片了。
唯独这第36批芯片被留了下来，而后在一个小时之后，这组还没有做成芯片的晶圆就被报废掉了。
陈彦霖从第36批芯片的报废时间上来看，也就比自己到的时间早10分钟，而在这个时间之前，这批晶圆已经被asnml公司的工程师们拿去做实验了。
因为晶圆上面都有着批号和编号，像光刻机这类的智能设备在生产的时候，会自动读取晶圆或者芯片上面的批号和编号，来和设备里即将光刻的线路版图的编号来校对。
这是智能设备里的一个很常见的防错装置，它可以杜绝工人们在生产中出现生产物料和生产参数不对的情况。
而以现场工人们的设备操作水平，他们肯定是不知道如何能跳过这个防错系统，用不对应编号的线路版图来光刻晶圆的。
所以提出这个实验方案的肯定是asnml公司的工程师们，而现场的工作人员就这么直接同意了！
......
瞬间推断出事情发生经过的陈彦霖，此刻想到张晓寒每天为了芯片厂殚精竭虑的模样，就忍不住眼神冷凝了起来。
崔青站在陈彦霖的身后，也看到了陈彦霖翻看数据的过程了。
崔青见陈彦霖不说话，咬了咬牙，就走到一旁拨了一通电话出去了。
而陈彦霖此刻也把心底的怒气都压了下去，而后就把这相关数据都截图后，就通过厂里的局域网，把这些图片都丢掉了公共盘的一个文件夹呢！
而后陈彦霖又对着现场，手上图不对版的晶圆，还有光刻机系统里的生产记录都拍了一些照片。
asnml公司的工程师们看到陈彦霖的动作也都紧张了起来，而后那名主管就走上前对着陈彦霖主动说道：“抱歉，我们只是想帮你们校测了一下设备，如果我们这个行为又不妥当的地方的话，那我们感到很道歉。”
陈彦霖闻言，语气平淡地回道：“我们所有已经投入正常生产的设备，如果要做实验的话，都是有申请流程的。这是我们公司的管理制度。”
“你们这次未经允许就把我们正在生产的设备和正常生产的物料拿来做实验的情况，这属于我们公司的一个重大事故，我会把这件事情报备给公司领导的，后续如何处理就需要看领导们的安排了。”
陈彦霖说完就盯着几人身后的光刻机说道：“我们现在要开始生产了，否则又要有几批物料会因为你们的实验而报废了。现在请把我们设备的参数复原一下，谢谢。”