“湿法刻蚀?”徐端仪没明白,沈岳山为什么会选择这个发展方向。
“对,起码就目前来看,应该走这条技术路线。当然长远来看还是要发展euv光刻,但目前的技术还不成熟,在这上面死磕只是浪费时间。”
“请问原因呢?”
沈岳山讲不出能明说的原因。他得出这样的结论,一是因为euv是二十年后才有的技术,一定不是现在的研究方向;二是因为干法刻蚀是霓虹国主攻的方向,而霓虹国在后来的光刻机竞争中是日渐没落的。
所以湿法刻蚀成了唯一的可能。
沈岳山思考了一阵,推托道:“原因我不方便说,但是百分之百,湿法刻蚀是最适应当前环境的。”
徐端仪和王大忠两人都觉得神了,这两个一个大学校长,一个专攻这方向的专家,都没敢说要选择哪种技术路线,就是现在问尼康的技术顾问,他们也不敢说哪种路线百分百就是对的。
可沈岳山却有胆量说这话,看起来还很自信。
两人不知是否该相信,顿在原地。
“听我的,”沈岳山已经确定了,“我要入股,然后在现在的技术基础上着手湿法刻蚀的研究。你们要是心里没底,就当是我邀请你们来帮我研发就行了,最后这路子没搞成,也不怪你们,只能怪我的路子选错了。”
徐端仪听罢,有所心动。
他不知沈岳山究竟凭借什么得出这样的判断,但对方散发出来的自信,让他不得不也有所感染。
也许真的就是湿法刻蚀这条路子?
也许拼一拼说不定真的能在这方面取得突破?
那不就是有可能起死回生了?
按照团队的目前状况,也只能死马当活马医了,这最后一点希望虽然渺茫,但好歹还蕴含着可能。
“王校长,”徐端仪扭过头道:“我想接受沈总入股的提议。”
王大忠一听,顿时就喜上眉梢,他巴不得沈岳山入股来救一救火,只是徐端仪这技术男拗着一根筋担心入股了也没用而已。
现在徐端仪答应了,他马上同意,毫不含糊,“这是好事,学校这方面没有意见。我明天让人草拟合同,后天就上会商讨此事!”
“好!”
这事没有耽搁太久,才两天,学校会议一致通过这方案,紧接着上面的批复就下来了。
因为当下大家都认为进口光刻机才是大势所趋,徐端仪的团队已经是半死不活的状态,在意的人并没几个,自然也就随着他本人的意愿了。
“我占50%股份,”沈岳山重复着合同上的关键条件,“累计投资一亿元,暂定分十年支付。”
这于徐端仪而言就是久旱逢甘霖,枯竭多时的实验室终于有机会重新活跃。
“徐教授,要麻烦你去把团队的人招回来了。”
“这是当然。”
“我强调的东西只有两点,一是就在当前自动分布投影的基础上,发展湿法刻蚀,如果能第一个突破,就能马上占得市场先机;二是另外安排一小拨团队,研究euv光源,这是未来的路径,也不能落下。”
徐端仪点点头,说是合作拿股份,其实现在团队的运转都要沈岳山这边拨钱,彼此更像是老板和员工,徐端仪当然愿意听从对方的指示。
入股没多少天,陈磊那边便来了消息。
“辛部这边愿意见见各位。”
“这太好了!”
虽然事情还没成,但起码对方还是愿意听一听意见的。
于是水木大学,同样的那间包间,沈岳山、徐端仪、王大忠,加上陈磊、辛志成,一共五个人,在商讨着国产光刻机最后的希望。
“事情我大概了解了,”辛志成先发话,接着看了眼对面的三人,“你们谁先说?”
“我来吧,”沈岳山发言道:“事情说穿了很简单,就看各位领导想不想救回国产的光刻机。大陆的光刻机仅剩的一点根就在这里了,如果这条根也断了,那国产的光刻机没了就没了。”
“我听说你们想工业信息部出面,要求下属的国企禁购光刻机?”辛志成问得直接了当。
“是,我提出来的。”沈岳山应得也很坦然。
辛志成喝了杯茶,笑了笑,“没想到你会有这样的想法,但这是贸易保护主义。”
这个帽子扣得可有点大,把剩下的三人都略略吓了一跳,现在全国上下都在说着开放市场、融入世界,谁要是提贸易保护,那就是违背大政方针。
但沈岳山也不推诿,大大方方承认了,“对,我这就是贸易保护主义。”
辛志成饶有兴致地看着沈岳山:“你倒是什么都不怕?”
“我实话实说,我的想法就是贸易保护。”沈岳山坦荡道:“米国以前搞光刻机封锁多少年了,要按他们的那套说法,这都不止叫贸易保护,应该叫贸易犯罪了。没必要别人一放开我们就贴着脸上去,米国那是示好吗?面上看起来是,但我们都心知肚明这是遏制国产光刻机发展的方式。”
沈岳山说得很直接,饭桌上的气氛瞬间添上了几分严肃,剩下三人都不敢插话,这变成了沈岳山和辛志成的饭局。
“小伙子,”辛志成年纪大,职位高,叫起人来也没多余的客气,“你怎么就敢说这解开封锁不是对我们的示好呢?现在科技领域,在这事的舆论上都是一致叫好。”
“这是他们惯用的套路了。”沈岳山剖析着对方这么多年来的“打压”方法,“先是封锁,紧接着逼得我们搞自研。等我们自研有成果,能开始慢慢满足市场了,他们就解开封锁。解开封锁也不卖最尖端的产品,就卖些中端技术给我们。
目的是什么?不卖高端技术,是为了防止我们的产品在国际市场上有竞争力;但又卖中端技术,是为了打压我们国产的技术发展,让他们胎死腹中。”
沈岳山说的这一切,不正是国产光刻机的遭遇么?