“沈总，”徐端仪开口介绍着整个团队的历程：“从一开始成立光刻机这个项目，只是因为国家认为有这个需要，所以以我为首，召集了一群人过来。
起初的时候确实是意气风发，人才有上面安排，资金有上面提供，可这好景不长，过了整整一两年，交不出一点研发成果，那就开始有人跑了，划下来的钱也少了。
再过个三年，划拨的资金就只有原来的一半，有的时候经济不好，甚至划不下来经费。从十年前都是紧巴巴地过日子，一直到去年，终于埋头干出了一台自动分布投影光刻机，又遇上了沈总你，以为终于熬到头了，好日子来了，没想到才高兴了不到几个月，就又打回原形。
准确来说现在是比以前更惨，前期已经投入了这么多成本准备量产第三代光刻机，现在材料技术都只能荒在这里。别说养活整个团队了，能招得起一个助理也已经不错了。”
沈岳山听着徐端仪的诉苦，突然就理解为何对方一下憔悴了这么多。八壹中文網
“但我们还是感谢沈总的，”徐端仪补充着：“明明您是可以直接购买进口货，不用管我们这种小团队的死活，但在救活国产光刻机这件事上，却比我们还要坚持。”
沈岳山没回话，右手手指抵在下巴上，开始在实验室里来回踱步。
没人知道他这是要干什么，直到沈岳山走了足足五六分钟，才突然停在两人面前，开口道：“如果我资金入股徐教授的团队，不知两位能否接受？”
这是两人未曾想过的，一支将死的小团队，一款没有前途的产品，面临的是群雄争霸的险恶市场，竟然还会有人觉得值得入股？
“沈总，你这是……”王大忠以为对方在开玩笑，但看着对方的眼神，显然这是深思熟虑过的。
“你们需要资金，我们需要稳定的光刻机供货机构，而且两位之前已经和我合作过，过程相当愉快。”
“但是我们没技术啊。”徐端仪说着，他受过沈岳山不少帮助，不想让对方投资了自己，就像买了个没一点用处的拖油瓶。
“技术是靠积累过来的。”沈岳山说道：“只有多投入多研发，才有可能获得。”
“但我们已经没机会了。”徐端仪要的是一种能够拯救团队的方式，而不是一笔只能让自己苟延残喘的资金。
如果没有方向，没有路子，没有胜利的可能，那投入再多的钱都是浪费。
沈岳山想了想，突然开口道：“我有点思路。”
“思路？关于什么的思路？”王大忠问道。
“关于光刻机发展的思路。”
这倒让两人觉得神了，这个商人是有点技术基础，可他在当下全世界都在钻研的光刻机发展路径上面，竟然也有想法吗？
“徐教授，你给我介绍下，之前说的光刻机发展路径，目前来看一般有哪几条路子？”
徐端仪不明所以，但既然对方问了，他也如实告知：“现在纵观全世界，光刻机的发展有三条路线，一种是直接上euv光刻机，也就是用短波紫外线来进行光刻，波长在13.5nm，如果能够实现，一定是当前技术范围里最先进的光刻方式。”
沈岳山对euv光刻机有很深的印象，因为上一世2020年后，euv光刻机的禁售就是对华的遏制方式之一。
这也就表明，euv光刻机照目前的技术是不能研发出来的，起码还有二十年，这项技术才可能面世，这不会是现在应该主攻的方向。
“那后面两种呢？”
徐端仪也有点担心沈岳山听不懂，但既然对方问了，他便继续答道：“剩下的两种，都是在当前性价比最高的duv深紫外光刻技术的193纳米光源上做文章。193纳米已经近乎到达了目前人类认知的极限，光刻机领域卡在这里已经二十年都无法再进一步。
现在在尝试研究的，一种是霓虹国在研究的157纳米，利用氟气准分子激光发出波长157纳米附近的真空紫外光；另一种是一位华人教授提出的，在保持193纳米光源的基础上，将光线与晶体的介质从空气变成水，通过水1.44的折射率，将193纳米的光波折射成134纳米的波长。”
徐端仪说到这，抬头看了眼沈岳山，确定他这时候还听得懂。
起码王大忠已经懵了，他的专业不在这个方向，技术储备只足够他听得懂大概，这种牵涉到前沿研究的领域，已经超过了他的认知范畴。
“沈总？”徐端仪轻轻唤了声，确保一直沉默的沈岳山脑子还在线。
但是没有回应，过了好一阵，徐端仪又唤了声：“沈先生？”
这会儿沈岳山从思绪里反应过来了，他本来想凭记忆回忆起重生前三十年光刻机的技术发展路径，但显然是白费力气。
当重新把思绪琢磨着徐端仪说的那番话时，他反应过来了。
“确实没有第四种路径了对吧？”
“没了。”徐端仪很是确认地摇摇头，打趣道：“光这三种假设已经耗费了全球物理学界众多精英的脑细胞，还要再想出第四种可能估计能逼疯不少人。”
“那你说的157纳米哪个技术路线，叫什么来着？”沈岳山急忙问道。
“叫干法刻蚀。”徐端仪快速回答。
“确定这个干法刻蚀是霓虹国在研究的对吧？”
“对，主要是尼康，这是他们主攻的方向。”徐端仪确认道。
沈岳山猛一拍手掌，高声道：“行了，那就走第三条路线吧！就是哪个华人教授提出来的中间加水那条，这条路一定能成功！我说的！”